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南京市江北新区 研创园激光芯片公共技术服务平台

研创园激光芯片公公技术服务平台位于南京市浦口区西华北路1 号,项目建筑面积6309.79m2,其中万级区1535m2,千级区 1134m2,百级区21m2。配电房、机组间、特气间、纯水间、废 水间等辅助功能间3234m2。合同额3299万,工期100天。 项目包含:洁净系统、消防、PCW、CD[**]、PV、有机排风、无机 排风、热排风、纯水系统、废水系统、冷热源系统、DCC系统、 弱电系统。
万级区采用的是[**]HU+高效箱的方式,温湿度要求为:22±1℃,50±5%RH。
千级区采用的是M[**]U+DCC+FFU的方式,温湿度要求为:22±0.5℃,45±3%RH,光刻间温湿度要求为:22±0.5℃,
40±3%RH,每小时变化率不高于±0.1℃。

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